青岛益嘉元科贸有限公司
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专注检漏20年   半导体设备综合服务商
  • 标准漏孔 LS-25 型
    使用寿命:约20年;内部气体罐容量可持续使用约5年,压力过低时,可以反复充注,多次使用。
    使用寿命:约20年;内部气体罐容...
    使用寿命:约20年;内部气体罐容量可持续使用约5年,压力过低时,可以反复充注,多次使...
  • ei系列批量型高真空系统
    支持各种蒸发源(即EB,RH,EB+RH等);基材托架与每个过程相一致的(即剥离,行星,卫星等);支持各种基材;基材尺寸支持从φ5...
    支持各种蒸发源(即EB,RH,E...
    支持各种蒸发源(即EB,RH,EB+RH等);基材托架与每个过程相一致的(即剥离,行...
  • 用于研发的高密度等离子刻蚀系统NE-550EX
    配备低压、低电子温度和高密度等离子源;支持从离子蚀刻到自由基蚀刻的各种过程控制;等离子体的密度和均匀性可以通过优化磁场来控制;配置...
    配备低压、低电子温度和高密度等离...
    配备低压、低电子温度和高密度等离子源;支持从离子蚀刻到自由基蚀刻的各种过程控制;等离...
  • Si深刻蚀系统NLD-5700Si
    良好的重复性和稳定的过程;对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移的良好控制;蚀刻后光滑的侧壁;可以蚀刻超精细(
    良好的重复性和稳定的过程;对光阻...
    良好的重复性和稳定的过程;对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移的良好控制;...
  • 负载锁定式等离子CVD系统CC-200/400
    27.12MHz的高密度等离子体工艺;支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si)和TEOS(SiO2)的沉积;通过CF...
    27.12MHz的高密度等离子体...
    27.12MHz的高密度等离子体工艺;支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a...
  • 多腔室溅射系统ENTRONTM-EX2 W300
    各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对准硅化物等);不仅具备Si器件的处理能力,而且还具备化合物半导...
    各种应用(NVM,Al和铜布线,...
    各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对准硅化物等);不...
  • 用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
    持续高温植入;高达700keV;通过软件链式植入;占地面积小;覆盖研发到批量生产各个领域。
    持续高温植入;高达700keV;...
    持续高温植入;高达700keV;通过软件链式植入;占地面积小;覆盖研发到批量生产各个...
  • 高压  LSI卡
    所谓非接触…;没有金属终端连接器连接的干预,在已连接到内部电路板的四个片线圈(电源,指令,读-写),根据读写装置和电磁结接入方式的...
    所谓非接触…;没有金属终端连接器...
    所谓非接触…;没有金属终端连接器连接的干预,在已连接到内部电路板的四个片线圈(电源,...
  • R-BLTMAXR  高压  用于LSI卡的读写器
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器;您可以轻松的与现场端设备进行组装。(R-BLTMAXR•R-BLT...
    它是标准配备的RS-232C或R...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器;您可以轻松的与现场端...
  • R-BLT422R    高压    用于LSI卡的读写器
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器;您可以轻松的与现场端设备进行组装。(R-BLTMAXR•R-BLT...
    它是标准配备的RS-232C或R...
    它是标准配备的RS-232C或RS-422接口的读取器/写入器;您可以轻松的与现场端...
  • 高压 卫星侧位系统  SP-100
    适用于GPS,GLONASS,SBAS,QZSS的卫星的模块;具有抗多径能力;快速TTFF
    适用于GPS,GLONASS,S...
    适用于GPS,GLONASS,SBAS,QZSS的卫星的模块;具有抗多径能力;快速T...
  • 高压 瞬间粘合剂
    通用型(金属,橡胶,塑料);型火焰胶粘剂;型火焰胶粘剂;高强度,耐冲击型;凝胶状型;木材,纸浸渍补强型;多种材料快速固化型;低气味...
    通用型(金属,橡胶,塑料);型火...
    通用型(金属,橡胶,塑料);型火焰胶粘剂;型火焰胶粘剂;高强度,耐冲击型;凝胶状型;...
  • 干真空泵LS系列
    高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间;低功耗——使用ECO-SHOCK技术实现低功耗,极限压力下的耗电量是...
    高泵速——可在接近大气压的情况下...
    高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速,大大缩短抽送时间;低功耗——使用ECO-...
  • 干真空泵CR Series Ver.B
    空气冷却,运行成本低;不需要冷却水和氮气;该泵具有功耗低、气密性好、重量轻等特点;可以通过气体镇流器将水蒸气泵入水中;适用标准:C...
    空气冷却,运行成本低;不需要冷却...
    空气冷却,运行成本低;不需要冷却水和氮气;该泵具有功耗低、气密性好、重量轻等特点;可...
  • 干真空泵GR系列
    特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内;适用于需要高吞吐量的装卸锁室;采用通用感应电动机,防爆电...
    特别适用于高负荷应用,如在常压和...
    特别适用于高负荷应用,如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在高压范围内;适用于需要...
  • 干真空泵LR/HR/UR系列
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的;ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀:HR曝气泵是为CVD和...
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或...
    低温泵:LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的;ULVAC独特的铝设计允许在整个泵...
  • 自动泵PST-030CU/AU
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型(AU)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)...
    10-9Pa级的极限压力(符合I...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型(AU)...
  • 自动泵PST-050CU/AU
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比);在超高...
    10-9Pa级的极限压力(符合I...
    10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型将泵送性...
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